Ионно-плазменная электродуговая установка для нанесения покрытий Platit pi-80

Вакуумная электродуговая установка ПИ-80 с вращающимися катодами, работающая по технологии LARC предназначена для нанесения покрытий на подложки из быстрорежущей стали, твердых сплавов, металлокерамики и пластмасс. Наносимые покрытия:

  • однослойные, многослойные, наноградиентные, нанослойные, нанокомпозитные, комбинации этих покрытий (TiN, TiAIN, AITiN, nACRo, TiCN-MP, TiAICN);
  • барьерные (антидиффузионные) покрытия на детали МЭМС и МСТ-приборов, упрочняющие покрытия на детали приборов, антикоррозионные покрытия, биосовместимые покрытия, алмазоподобные бактерицидные покрытия;
  • наноструктурные покрытия различного класса для различных деталей и узлов микросистемной техники.

Основные технические характеристики:

Установка оснащение революционной системой двух вращающихся цилиндрических полых катодов. Система технологии LARC позволяет равномерно и оптимально использовать всю рабочую плоскость испарителей с эффективной площадью d * p * h. Высококачественный контроль движением дуги обеспечивает за счет высокого магнитного поля, оптимальной эрозии катодов, минимизацией капельной фазы. Вращающиеся катоды расположены в двери вакуумной камеры и имеют систему виртуального затвора для очистки поверхности катодов во время, до и после процесса нанесения покрытия. Размеры камеры: W400 x D380 x H520 mm. Максимальная загрузка – 50 кг. Образцы размером (диаметром) от 1 мм до 40 см.

При использовании дугового испарения зажигается электрическая дуга. Катод устанавливается вертикально на стенки камеры и к нему подводится отрицательное напряжение. В момент поджига дуги на поверхности мишени возникает местный расплав и начинается испарение металла мишени. Однако, при испарении вместе с ионами материала также ускоряются неионизированные частицы металла (капли), которые также осаждаются на поверхность инструмента. Наличие этой капельной фазы является основным недостатком дугового метода, так как капли ухудшают качество поверхности инструмента после покрытия. Технология LARC фирмы Platit позволяет практически полностью исключить попадание этой первичной капельной фазы на покрываемый материал.

Требования к образцам:

  • Размер: не более 300х400 мм;
  • Вес образца: до 40 кг.