Растровый электронный микроскоп TESCAN VEGA II с системой рентгеноспектрального микроанализа Oxford INCA Energy 350

Растровый электронный микроскоп TESCAN с системой рентгеноспектрального микроанализа INCA предназначен для анализа химического состава и концентрации химических элементов в твердых веществах, сыпучих материалах, порошках, жидкостях, образцах, осажденных на пленках и фильтровальной бумаге. Существует возможность получения карт диффузии.

Основные технические характеристики:

Элементный анализ – качественный и количественный.

Анализ химических элементов следующих в периодической системе химических элементов за бериллием (Be).

Разрешение - 3 нм при ускоряющем напряжении в колонне 30 кВ.

Увеличение - от х4 до х1 000 000.

Ускоряющее напряжение - от 200 В до 30 кВ.

Ток электронного луча - от 1 пА до 2 мкА.

Рабочее значение вакуума - 5x10-3 Па.

Требования к образцам:

Размер образца – от 20 мкм до 500×500×30 мм.