Оже-спектрометр Specs (Германия)

Сверхвысоковакуумный аналитический прибор Оже-электронной спектроcкопии (англ. Auger electron spectroscopy) предназначен для элементного (кроме He и H) анализа поверхности образцов диаметром до 20 мм в условиях сверхвысокого вакуума (до 10-8 Па).

Основу прибора составляет полусферический энергоанализатор, обеспечивающий регистрацию потока вторичных электронов с энергиями до 3,5 кэВ с выбранного участка образца. Прибор позволяет определять элементный состав поверхностного слоя образца, химические связи по энергетическому смещению спектров, а также проводить количественный концентрационный анализ химических элементов.

Встроенная пушка ионов (Ar+) позволяет очистить поверхность от загрязнений, оксидов и прочее, а также осуществлять последовательное контролируемое травление по глубине с поэтапным анализом оже-электронов – получение концентрационного профиля элементов по глубине (до 1 мкм).

Технические характеристики Оже-спектрометра:

Источник электронов:

  • Диапазон энергий:                 до 5 кэВ;
  • Диаметр пучка:                      до 100 мкм;
  • Макс. ток пучка:                    100 мкA

Анализатор:

  • 5 канальный детектор;
  • диапазон энергии                              до 3,5 кэВ;
  • минимальный шаг                             7 мэВ;

Ионная пушка:

  • Ионы                                                   аргон;
  • Диапазон энергий:                 от 0,2 до 5 кэВ;
  • Диаметр пучка:                                  от 800 до 100 мкм;
  • Режим сканирования             до 10х10 мм2;

В основе принципа оже-спектрометрии лежит явление выхода вторичных электронов с поверхностного слоя участка образца, который облучается сфокусированным потоком электронов (первичных электронов), определенной энергии. При взаимодействии первичных электронов с поверхностью происходит возбуждение электронов на внутренних уровнях атомов образца, образованная вакансия заполняется верхним электроном, освободившаяся энергия в безизлучательном процессе передается другому электрону, который является оже-электроном. Детектируемые оже-электроны несут информацию о элементом и химическом составе приповерхностного слоя.

Требования к образцам:

  • Размер: до 20 мм в диаметре, до 10 мм в высоту.