ИК-спектральный эллипсометр IR-VASE

Эллипсометр IR-VASE позволяет определить:

  • Оптические константы (n и k, ε1 и ε2);
  • Толщины плёнок (однослойных и многослойных);
  • Химический состав материала;
  • Концентрацию примеси;
  • Шероховатость поверхности и межслойную шероховатость;
  • Оптическую анизотропию;
  • Профиль характеристик материала по глубине.

Характеристика:

  • Спектральный диапазон от 2 до 33 микрон (300 до 5000 см-1);
  • Эллипсометрия с вращающимся компенсатором;
  • Спектральное разрешение: от 1 до  64 см-1;
  • Угол падения: от 30° до 90° (± 0,005°);
  • Время измерения: от 1 до 30 минут (1 угол при разрешении 16 см-1);
  • Неразрушающий анализ;
  • Высокая чувствительность для наноразмерных покрытий.

Области применения:

  • нанотехнологогии,
  • полупроводниковые элементы и приборы,
  • металлоорганические гетероструктуры,
  • молекулярные колебания и фононная структура,
  • различные функциональные (в т.ч. оптические) покрытия,
  • фотоэлектрические преобразователи энергии, солнечные батареи,
  • биотехнологии и адсорбционные технологии.

Требования к образцам:

  • Размер образца:
    • Диаметр от 5 мм (желательно от 10 мм) до 200 мм
    • Толщина до ~ 10 мм;
  • Толщина изучаемого покрытия
    • от ~0,1 нм до ~50..80 нм для металлов
    • от ~0,1 нм до ~20..30 мкм для диэлектриков и полупроводников;
  • Поверхностная и межслойная шероховатость – не более ~ 2 мкм (не более 9-го квалитета);
  • Неоднородность по толщине пленок в пределах пучка – не более ~ 10%.